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科创投集团投资企业上微公司高亮度LED步进投影光刻机入选“上海设计100+”

发布时间:2020-06-10

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近日,上海信息消费节开幕式暨“上海信息消费云峰汇”在黄浦江畔的安莎国际会议中心举行。作为本次上海信息消费节开幕式的重要组成部分,上海市政府秘书长陈靖、上海市政府副秘书长陈鸣波、上海市经济信息化工作党委书记陆晓春、上海市经济信息化委主任吴金城,携上海设计品牌代表,共同发布首届“上海设计100+”产品。科创投集团投资企业上海微电子装备有限公司高亮度LED步进投影光刻机从1200多个申报项目中成功突围,入选“上海设计100+”。

上海于2010年加入联合国教科文组织“创意城市网络”,命名为“设计之都”。根据市政府重点工作安排,上海市经信委于2020年初启动了首届“上海设计100+”征集工作。围绕国际设计之都、时尚之都、品牌之都建设,推进设计、时尚、品牌三个100+工程。

由上海微电子装备有限公司自主研发的高亮度LED步进投影光刻机,是中国首台面向6英寸以下中小基底先进光刻应用领域的光刻机产品,可满足HB-LED等领域单面或双面的光刻工艺需求,解决了LED产业大翘曲蓝宝石高分辨率、高拼接精度、大焦深、高产率的光刻需求,且支持蓝宝石键合片特殊工艺。自产品问世以来,先后荣获“第十五届中国国际工业博览会铜奖”、“上海市专利新产品”、“第十三届(2018年度)中国半导体创新产品和技术奖”、工信部第四批“制造业单项冠军产品”等荣誉。