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尹志尧博士是几代等离子体刻蚀技术及设备的主要发明人和工业化应用的推动者。经过十多年的努力，中微已经成为国内半导体高端设备的领军企业。尹志尧博士曾获中国半导体制造业年度人物、上海领军人物、上海市政府白玉兰纪念奖、浦东经济人物十强等。